金融界 2025 年 1 月 24 日消息，国家知识产权局信息显示，FEI 申请一项名为“使用不对称探针去卷积的 FIB 和 SEM 分辨率增强”的专利，公开号 CN 119338682 A，申请日期为 2024 年 7 月sem 。
专利摘要显示，伸长的或其他非圆形带电粒子束(CPB)用于产生衬底图像，该衬底图像可以例如通过去卷积来处理以产生最终图像sem 。在一些情况下，与沿着平行轴线对准的不对称 CPB 束相关联的第一图像和第二图像被去卷积并且然后被组合以产生最终图像，或者被组合并且然后去卷积以产生最终图像。可通过相对于 CPB 扫描或处理方向对准不对称 CPB 来执行铣削或其他处理。
来源：金融界