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聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)双束系统是一种集成了聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)功能的高科技分析仪器sem。它通过结合气体沉积装置、纳米操纵仪、多种探测器和可控样品台等附
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