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FIB-SEM 双束技术简介及其部分应用介绍:sem
摘要结合聚焦离子束（FIB）技术和扫描电子显微镜（SEM）的FIB-SEM双束系统，通过整合气体注入系统、纳米操控器、多种探测器以及可控样品台等附件，已发展成为一个能够进行微观区域成像、加工、分析和
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摘要结合聚焦离子束（FIB）技术和扫描电子显微镜（SEM）的FIB-SEM双束系统，通过整合气体注入系统、纳米操控器、多种探测器以及可控样品台等附件，已发展成为一个能够进行微观区域成像、加工、分析和