金融界 2024 年 12 月 18 日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（）股份有限申请一项名为“SEM 图像矫正方法、装置、设备、介质及产品”的专利，公开号 CN 119130869 A，申请日期为 2024 年 8 月sem 。
专利摘要显示，本申请提供了一种 SEM 图像矫正方法、装置、设备、介质及产品，对原始 SEM 图像的图像轮廓进行平直化处理，得到图像轮廓对应的多边形，平直化处理用于将图像轮廓中的各条边沿预设坐标轴的轴向延伸，预设坐标轴根据述图像轮廓中的各条边确定；从多边形的多条边中筛选长度大于预设长度的边，得到至少一条矫正边；针对每条矫正边，分别执行：获取图像轮廓上与该条矫正边所对应的图像轮廓位置点；对图像轮廓位置点进行直线拟合，得到拟合直线；计算拟合直线与该条矫正边之间的角度；根据至少一条矫正边对应的角度，对原始 SEM 图像进行旋转矫正，得到目标 SEM 图像sem 。本申请实施例能够提高 SEM 图像的矫正精度。
来源：金融界